بنای این مسجد با عظمت، قرنهاست که از فراسوی تاریخ تمدن این سرزمین می درخشد، به نحوی که در کتب تاریخی یزد آمده است: "مسجد را بر جای آتشگاه ساسانی ساخته اند و سنگ بنای آن توسط علاء الدوله گرشاسب نهاده شده است".